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微電子潔凈車間施工步驟

籌備階段：定義項目目標和需求：明確潔凈車間的用途、潔凈度等級要求、工藝流程等，并制定詳細的項目目標和需求。與設計團隊合作，制定潔凈車間的設計方案，包括布局、空氣流動控制、設備布置等。

工程準備階段：選擇合適的土地用于潔凈車間建設，并進行必要的土地準備工作。根據設計方案，采購所需的材料和設備，并進行儲存和準備工作。

建筑施工階段：進行潔凈車間的建筑施工，包括地基、墻體、天花板、地面等的建設。安裝空氣過濾系統、空調設備、風道等，確保潔凈車間的空氣質量和溫濕度控制。安裝潔凈車間的電氣系統，包括照明設備、電力供應、靜電控制設備等。安裝氣流控制設備，如空氣幕簾、氣流屏障等，確保潔凈區域的氣流控制和壓差控制。安裝潔凈車間所需的設備，包括生產設備、工作臺、工作臺、處理設備等。

完工和調試階段：對潔凈車間進行全面的驗收，確保施工符合設計要求和相關標準。對潔凈車間的空調系統、氣流控制系統、電氣系統等進行調試和測試，確保系統正常運行。進行潔凈度驗證測試，確保潔凈車間的潔凈度達到要求。為工作人員提供培訓，使其了解潔凈車間的操作規程、潔凈度要求等，并準備開始生產。

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