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微電子潔凈車間布局原則

流程分離：避免不同工藝步驟之間的交叉污染，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。

空間分隔：準(zhǔn)潔凈區(qū)要求次高的潔凈度，用于次要的工藝步驟。非潔凈區(qū)則不要求潔凈度，用于非關(guān)鍵的工藝步驟或設(shè)備維護(hù)等。

氣流控制：通常采用正壓或負(fù)壓控制，通過(guò)空氣過(guò)濾系統(tǒng)、氣流調(diào)節(jié)和排風(fēng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。

人員流動(dòng)控制：采取適當(dāng)?shù)娜藛T行為控制措施，如穿戴潔凈服、戴口罩、戴手套等，以防止人員對(duì)環(huán)境的污染。

設(shè)備布置：設(shè)備之間應(yīng)保持適當(dāng)?shù)拈g距，以便于操作、維護(hù)和清潔。同時(shí)，設(shè)備應(yīng)與空氣過(guò)濾系統(tǒng)和氣流控制系統(tǒng)協(xié)調(diào)配合，確保潔凈度要求的達(dá)到。

材料選擇：具有抗靜電、易清潔、低揮發(fā)性等特性。避免使用會(huì)產(chǎn)生粉塵、顆粒或有害物質(zhì)的材料，以減少污染源。

監(jiān)測(cè)和驗(yàn)證：用于監(jiān)測(cè)空氣質(zhì)量、潔凈度、溫濕度等參數(shù)，并進(jìn)行定期驗(yàn)證。這樣可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并采取措施進(jìn)行調(diào)整和改進(jìn)。

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