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微電子潔凈車間是用于生產和加工微電子器件的特殊環境，要求非常嚴格的潔凈度和環境控制。

微電子潔凈車間通常按照國際標準ISO 14644-1對潔凈度進行分類和評定。常見的潔凈度等級包括ISO 1至ISO 9，數值越小表示潔凈度要求越高。

微電子潔凈車間需要安裝高效顆粒空氣(HEPA)過濾器或超高效空氣(ULPA)過濾器，以去除空氣中的微粒、顆粒和有害物質。過濾器的選擇和布局應根據車間尺寸和潔凈度等級進行設計。

微電子潔凈車間通常采用單向流動的設計，即潔凈空氣從潔凈區域流向非潔凈區域，以防止交叉污染。送風口和回風口的位置和數量應根據潔凈度等級和車間布局進行合理設置。

微電子器件對溫濕度的要求非常嚴格，因此潔凈車間需要安裝恒溫恒濕系統，以保持穩定的溫濕度環境。溫濕度控制應符合微電子器件生產的要求和標準。

微電子潔凈車間中的靜電會對器件產生影響，因此需要采取靜電控制措施。例如，使用導電地板、靜電消除器、防靜電工作服等，以減少靜電的產生和積累。

在微電子潔凈車間的裝修中，需要選擇符合要求的材料。例如，地面材料應具有防塵、耐腐蝕、易清潔等特性。墻壁和天花板材料應具有光滑、無塵、無毛刺等特性。

為了減少外部污染物的進入，需要實施嚴格的進出控制措施。例如，設置過渡區域、空氣淋浴等，以清潔和控制人員進出車間。

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